Modelirowanie poluprowodnikowyh gazowyh sensorow rezistiwnogo tipa

V rabote proweden analiz principow raboty poluprowodnikowyh gazowyh sensorow rezistiwnogo tipa, sformulirowana matematicheskaq model', swqzywaüschaq wyhodnye harakteristiki sensorow s parametrami adsorbiruüschegosq gaza, aktiwnogo sloq i rabochego rezhima. Predlozhena procedura rascheta uslowij, pri wypolnenii kotoryh model' aktiwnogo gazochuwstwitel'nogo sloq sensorow suschestwenno uproschaetsq i sprawedliwo priblizhenie polnost'ü obednennyh osnownymi nositelqmi zarqda melkodispersnyh polikristallicheskih sloew shirokozonnyh poluprowodnikow. S pomosch'ü postroennoj teorii gazochuwstwitel'nosti tonkih plenok shirokozonnyh poluprowodnikow (w priblizhenii polnost'ü obednennyh zeren aktiwnyh sloew sensorow) predlozheno opisanie processow, opredelqüschih osnownye harakteristiki poluprowodnikowyh gazowyh sensorow rezistiwnogo tipa, w analiticheskom wide polucheny sootnosheniq, swqzywaüschie gazochuwstwitel'nost' aktiwnyh sloew sensorow s ih swojstwami, swojstwami gaza, osnownymi parametrami sloew i rezhimow raboty.