MIKRO - I NANOJeLEKTROMEHANIKA

V sowremennoj mikroälektronike naibolee intensiwnorazwiwaüschimsq sektorom qwlqütsqmikroälektromehanicheskie sistemy, MEMS. Jeto naprawlenie baziruetsq na poslednih dostizheniqhmikroälektronnyh tehnologij i imeet cel'ü sozdanieispolnitel'nyh mikromehanizmow,obladaüschih nedostizhimymi ranee funkcional'nymi wozmozhnostqmi.V poslednie gody MEMS okazywaet bol'shoe wliqnie napowsednewnuü zhizn' desqtkow millionow lüdej,cherezsozdaniq nowyh rynkow mobil'noj älektroniki,obladaüschih ranee neizwestnymi potrebitel'skimiswojstwami i na otrasli promyshlennosti,-awtomobil'nuü, älektronnuü,aärokosmicheskuü,medicinskuü i t.d. Odnako k nastoqschemu wremeni bol'shinstwo specialistow,razrabotchikow älektronnoj tehniki i pol'zowatelejustrojstw wysokih tehnologij obladaet nedostatochnojinformaciej o nowom naprawlenii mikroälektroniki. V knige rassmatriwaetsq sowremennoe sostoqniq ätogonaprawleniq mikroälektroniki, shirokij spektr egoprakticheskih wozmozhnostej i perspektiw dal'nejshegorazwitiq. Rassmatriwaütsq fizicheskie principyfunkcionirowaniq MEMS, ih harakteristiki.Kniga rasschitana na specialistow w oblastimikroälektroniki, informatiki, i na studentowtehnicheskih wuzow.