MICRO Y NANOELECTROMECÁNICA

En la microelectrónica moderna, el sector que se desarrolla más intensamente es el de los sistemas microelectromecánicos, MEMS. Esta dirección se basa en los últimos logros de las tecnologías microelectrónicas y tiene por objeto crear micromecanismos ejecutivos que tienen capacidades funcionales antes inalcanzables. En los últimos años, los MEMS han tenido un gran impacto en la vida cotidiana de decenas de millones de personas, mediante la creación de nuevos mercados para la electrónica móvil, con propiedades de consumo e industrias hasta ahora desconocidas: automotriz, electrónica, aeroespacial, médica, etc. Sin embargo, hasta la fecha, la mayoría de los especialistas, desarrolladores de equipo electrónico y usuarios de dispositivos de alta tecnología no tienen suficiente información sobre la nueva dirección de la microelectrónica. El libro considera el estado actual de esta dirección de la microelectrónica, una amplia gama de sus posibilidades prácticas y las perspectivas de un mayor desarrollo. Se consideran los principios físicos del funcionamiento de los MEMS y sus características. El libro está diseñado para especialistas en microelectrónica, informática y estudiantes de universidades técnicas.