MICRO E NANOELECTROMECÂNICA

Na microelectrónica moderna, o sector que mais se desenvolve intensivamente é o dos sistemas microelectromecânicos, MEMS. Esta direcção baseia-se nas mais recentes realizações das tecnologias microelectrónicas e visa criar micromecanismos executivos com capacidades funcionais anteriormente inatingíveis. Nos últimos anos, MEMS teve um grande impacto na vida quotidiana de dezenas de milhões de pessoas, através da criação de novos mercados para a electrónica móvel, com propriedades de consumo e indústrias anteriormente desconhecidas - automóvel, electrónica, aeroespacial, médica, etc. Contudo, até à data, a maioria dos especialistas, desenvolvedores de equipamentos electrónicos e utilizadores de dispositivos de alta tecnologia têm informação insuficiente sobre a nova direcção da microelectrónica. O livro considera o estado actual desta direcção da microelectrónica, uma vasta gama das suas possibilidades práticas e perspectivas de desenvolvimento futuro. Os princípios físicos de funcionamento dos MEMS e as suas características são considerados. O livro foi concebido para especialistas em microelectrónica, informática, e estudantes de universidades técnicas.