Lézerfénnyel vezérelt fémleválasztás folyékony fázisú közegekb¿l

A lézeres folyadékfázisú leválasztás a mikro-és nanoelektronika egyik legeredményesebb technológiai eljárása. Ellentétben a g¿z/gáz fázisú leválasztással nem igényel bonyolult és költséges vacuum rendszert, s a felhasznált anyagok sem toxikusak. Az eljárás lényege abban áll, hogy a hordozóra felvitt, s a leválasztandó anyagot (fémet) tartalmazó réteg határfelületére fókuszált lézer nyaláb kémiai reakciót indukál, minek következtében a leválasztandó anyag megtapad a hordozó felületén. A lateráls és vertikális feloldás, gyakorlatilag az alkalmazott lézerfény hullámhosszának nagyságrendjébe esik. A ¿rétegépítés¿ számos paramétere az alkalmazott lézerparaméterekkel, folytonos, impulzus üzem¿ (lövésszám) hullámhossz, stb könnyen kézben tartható, bizonyos mértékben szabályozható, illetve el¿re tervezhet¿ (tayloring).