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Beschreibung
Rassmotreny principy postroeniq mikromehanicheskih zerkal i ustrojstw obrabotki signalow emkostnyh preobrazowatelej peremeschenij. Predstawleny razrabotannye metody postroeniq mikromehanicheskih zerkal s krestoobraznym i integrirowannym wnutrennimi podwesami, urawneniq dwizheniq zerkal'nyh älementow i modeli dlq rascheta zhestkostej uprugih podwesow predlozhennyh ustrojstw. Predlozhen metod proektirowaniq mikromehanicheskih zerkal.
Details
| Verlag | LAP LAMBERT Academic Publishing |
| Ersterscheinung | 22. Juni 2013 |
| Maße | 22 cm x 15 cm x 0.7 cm |
| Gewicht | 155 Gramm |
| Format | Softcover |
| ISBN-13 | 9783659407420 |
| Seiten | 92 |
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