Films nanocomposites à base de nanoparticules de silicium

Le présent travail s¿inscrit dans le cadre de l¿étude des propriétés optiques, électriques et structurales de nanoparticules de silicium (Np-Si) immergées dans une matrice d¿oxyde ou de nitrure de silicium sous forme de couches minces obtenues par di¿érentes techniques de dépôt. Les conditions de formation de ces nanostructures dans des couches de nitrure enrichies en silicium sont étudiées än de trouver les conditions de dépôt optimales permettant d¿avoir une forte densité de nanoparticules ainsi qu¿une taille contrôlée. Des structures en multicouches élaborées en utilisant di¿érents procédures de dépôt sont analysées. Les résultats de photoluminescence obtenus sur des multicouches déposées par pulvérisation magnétron permettent de valider les performances de telles structures. L¿accent est mis particulièrement sur l¿analyse des propriétés d¿absorption et de transport de charges dans ces nanostructures än de tester leur e¿cacité "photovoltaïque". Enfin, une partie de ce travail est dédiée à l¿étude de l¿e¿et de dopage sur les propriétés optiques des couches nanocomposites.