Fiabilité des micro-interrupteurs en technologie MEMS

L''amélioration, en termes de performances et de fiabilité, des micro-interrupteurs en technologie MEMS est indispensable pour permettre leur plus large industrialisation. Les travaux présentés dans cet ouvrage s''inscrivent dans le cadre d''une collaboration entre Schneider Electric et le CEA-Leti dont a résulté un micro-interrupteur MEMS à la fiabilité supérieure à l''état de l''art mondial. Cet ouvrage présente alors une étude des mécanismes de défaillances du contact électrique de ce composant, suivie du développement d''un banc de test permettant d''évaluer l''endurance de nouveaux matériaux de contact. Une étude des mécanismes d''établissement et d''interruption du courant lorsque l''espace inter-contacts est réduit à quelques dizaines de nanomètres est ensuite présentée. L''utilisation d''un microscope à force atomique à pointe conductrice a permis de simuler à vitesse réduite l''actionnement d''un micro-contact et a permis de mettre en évidence un phénomène de transfert de matière se produisant lors des derniers instants précédant la fermeture du contact. L''ensemble de ces travaux est alors utilisé pour définir les règles de conception d''un micro-contact fiable.