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Beschreibung
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
Details
| Verlag | KIT Scientific Publishing |
| Ersterscheinung | 01. Juni 2010 |
| Maße | 21 cm x 14.8 cm |
| Gewicht | 250 Gramm |
| Format | Softcover |
| ISBN-13 | 9783866444966 |
| Seiten | 125 |
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