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Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope

von Huiliang Cao
Softcover - 9789811992490
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Beschreibung

This book introduces the key technologies in the manufacture of double-mass line vibrating silicon micromechanical gyroscope, respectively. The design of gyrostructure, detection technology, orthogonal correction technology, the influence of temperature and the design of measurement and control system framework are introduced in detail, with illustrations for easy understanding.

It presents the principle, structure and related technology of silicon-based MEMS gyroscope. The content enlightens the researchers of silicon-based MEMS gyroscopes and gives readers a new understanding of the structural design of silicon-based gyroscopes and the design of dual-mass gyroscopes.

Details

Verlag Springer Singapore
Ersterscheinung 19. April 2024
Maße 23.5 cm x 15.5 cm
Gewicht 365 Gramm
Format Softcover
ISBN-13 9789811992490
Auflage 2023
Seiten 224

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