Croissance de matériaux en couches minces par décharge électrique

Un film mince est une couche ou plusieurs couches de matériau dont l'épaisseur varie de quelques nanomètres (appelées monocouches) à plusieurs micromètres. On parle de structure multicouche lorsque plusieurs couches minces sont empilées. Les couches minces sont déposées sur un substrat à diverses fins, notamment pour le protéger, modifier son aspect visuel à des fins décoratives, modifier ses propriétés optiques ou électriques, etc.Le processus de dépôt de couches minces revêt une grande importance dans de nombreuses applications. Il consiste à appliquer une fine couche d'une substance quelconque sur une surface, qu'il s'agisse d'un substrat ou de couches déjà déposées. En fonction de la nature physique ou chimique dominante du processus, les techniques de dépôt peuvent être classées en deux grandes catégories. Cette présentation abordera les techniques les plus utilisées dans ce domaine.