{"product_id":"technologie-von-mems-elementen-auf-der-basis-nanokristalliner-diamantschichten-fur-eine-hybride-integration-von-joachim-kusterer","title":"Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration","description":"\u003cp\u003eIm Rahmen dieser Arbeit wurden auf der Basis von heteroepitaktischen und\u003c\/p\u003e\u003cp\u003epolykristallinen Diamantschichten auf Silizium unter Anwendung einer generischen\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eMaterial- und Herstellungstechnologie verschiedene Mikrosysteme entwickelt.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDieses Materialsystem wurde in den vergangenen Jahren zunehmend für\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eden Einsatz in solchen Systemen als das ultimative Material prognostiziert, speziell\u003c\/p\u003e\u003cp\u003efür die Entwicklung von Mikroaktoren und Mikrosensoren [1¿8]. Gerade in\u003c\/p\u003e\u003cp\u003emikroelektromechanischen Systemen (MEMS) ist Diamant durch seine exzellenten\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eMaterialeigenschaften herkömmlichen Standardmaterialien wie Silizium oder\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eGalliumarsenid meist deutlich überlegen. Die gegenwärtigen Abscheidemethoden\u003c\/p\u003e\u003cp\u003evon Diamant verhindern jedoch in sehr vielen Fällen eine monolithische Einbindung\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eder Diamantaktoren in elektronische Schaltungen. Das Hauptproblem\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eliegt dabei in den Wachstumstemperaturen im Bereich von 700 - 900 ?C in wasserstoffreduzierender\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eAtmosphäre. Auf der anderen Seite sind CMOS-ähnliche\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eSysteme in Diamant bisher noch nicht realisiert worden, da keine geeigneten\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDotierstoffe mit nennenswerter Aktivierungsenergie zur Erzeugung einer p- oder\u003c\/p\u003e\u003cp\u003en-Leitfähigkeit (bei Raumtemperatur) bekannt sind.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eAus diesen Gründen wurden in jüngster Zeit zwei unterschiedliche Konzepte\u003c\/p\u003e\u003cp\u003everfolgt, um diamantbasierende MEMS zu entwickeln. Ein Ansatz ist die Verwendung\u003c\/p\u003e\u003cp\u003evon ultrananokristallinem Diamant (UNCD), der bei Temperaturen bis\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eunter 400 ?C abgeschieden werden kann [9]. Hierbei werden allerdings die thermischen\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eund chemischen Materialeigenschaften zum Teil stark beeinträchtigt,\u003c\/p\u003e\u003cp\u003ewas gerade bei Hochleistungs- und Hochtemperaturanwendungen eine bedeutende\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eRolle spielt. Der andere, in dieser Arbeit verwendete Ansatz, ist eine hybride\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eIntegration von Diamantbauelementen auf einem Fremdsubstrat.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9783869552842\"\u003e\u003ch3\u003e\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9783869552842","offer_id":39928829706333,"sku":"9783869552842","price":19.3,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/db5e90af-4ff6-4229-95e1-dba5c8293307.jpg?v=1756879702","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/products\/technologie-von-mems-elementen-auf-der-basis-nanokristalliner-diamantschichten-fur-eine-hybride-integration-von-joachim-kusterer","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}