{"product_id":"passivation-de-gaas-par-deposition-lf-pecvd-du-nitrure-de-silicium-von-abdelatif-jaouad","title":"Passivation de GaAs par déposition LF-PECVD du nitrure de silicium","description":"\u003cp\u003eLes performances de plusieurs dispositifs fabriqués   sur des matériaux III-V sont lourdement affectées   par la grande densité des états de surface qui sont  localisés au voisinage du milieu de la bande  interdite (niveaux profonds). Ces états électroniques  sont responsables du pinning du niveau de Fermi, et  empêchent l''émergence d''une technologie MOS (Métal- Oxyde-Semiconducteur) viable à ce jour sur ces  matériaux. Les niveaux profonds limitent aussi les  performances des dispositifs photoniques. Dans ce  document, nous démontrons que la déposition du  nitrure de silicium par LF-PECVD (Low frequency  plasma enhanced vapor deposition), assure une  passivation efficace du GaAs. Le modèle proposé pour  expliquer le fort potentiel de cette technique, est  basé sur le fait que les ions hydrogène fournies par  le silane et l''ammoniac peuvent suivre le signal RF  et traverser la gaine du plasma et bombarder la  surface de GaAs. Cette hydrogénation permet de  désoxyder la surface de GaAs et réduit l''arsenic  élémentaire, ce qui permet de lever le pinning du  niveau de Fermi. Ce modèle a été validé par des  analyses physico-chimiques.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9786131581618\"\u003e\u003ch3\u003eGaAs passivation by LF-PECVD silicon nitride deposition\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9786131581618","offer_id":40148640956509,"sku":"9786131581618","price":59.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/767f7b1f-1cb6-455c-af6b-178b4bc75f33.jpg?v=1757828329","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/products\/passivation-de-gaas-par-deposition-lf-pecvd-du-nitrure-de-silicium-von-abdelatif-jaouad","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}