{"product_id":"mikroalektronnye-processy-dlq-izgotowleniq-sbis-von-debasis-mukherae","title":"Mikroälektronnye processy dlq izgotowleniq SBIS","description":"\u003cp\u003eKniga \"Mikroälektronnye processy pri izgotowlenii SBIS\" - äto polnoe i awtoritetnoe rukowodstwo, w kotorom rassmatriwaütsq fundamental'nye principy i peredowye tehnologii, ispol'zuemye pri izgotowlenii swerhbol'shih integral'nyh shem (SBIS). Ohwatywaq shirokij krug woprosow, kniga nachinaetsq s podrobnogo wwedeniq w tehnologiü kremniewyh poluprowodnikow, wklüchaq obzor poluprowodnikowyh materialow, kristallicheskoj struktury kremniq, wnutrennih i wneshnih poluprowodnikow, tonkostej legirowaniq i koncentracii nositelej. Posleduüschie glawy poswqscheny wazhnejshim aspektam izgotowleniq SBIS, w nih rassmatriwaütsq tehnologii obrabotki poluprowodnikowyh plastin, takie kak rost, podgotowka, kontrol' defektow i razlichnye metody ochistki plastin. Podrobno rassmatriwaetsq wazhnejshij process okisleniq, ob#qsnqütsq metody termicheskogo, suhogo i mokrogo okisleniq, a takzhe modeli rosta oxidow. V knige podrobno rassmatriwaütsq metody äpitaxial'nogo osazhdeniq, wklüchaq himicheskoe osazhdenie iz parowoj fazy (CVD), molekulqrno-luchewuü äpitaxiü (MBE) i selektiwnuü äpitaxiü. Takzhe podrobno rassmatriwaütsq processy ionnoj implantacii i diffuzii, qwlqüschiesq klüchewymi pri izgotowlenii poluprowodnikowyh priborow, i daetsq podrobnoe opisanie processow ionnoj implantacii.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9786206369769\"\u003e\u003ch3\u003e\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9786206369769","offer_id":47008783008069,"sku":"9786206369769","price":43.8,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/510de1c9-c28a-4b22-8c5f-93989918b63b.png?v=1758695636","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/products\/mikroalektronnye-processy-dlq-izgotowleniq-sbis-von-debasis-mukherae","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}