{"product_id":"le-silicium-poreux-von-messaoud-hajji-und-hatem-ezzaouia","title":"Le silicium poreux","description":"\u003cp\u003eCe travail met en évidence l¿importance du silicium   poreux en présence de tétrachlorure de silicium dans   le gettering et le blocage des impuretés lors de la   croissance et l¿obtention de couches minces de très   grande qualité. La première partie est consacrée à   une généralité sur les propriétés des couches minces   de Si. Dans la deuxième partie nous présentons les   propriétés du silicium poreux (SP) et son effet de   gettering. L¿effet de gettering par SP en présence du   SiCl4 a été évalué par l¿augmentation prononcée de la   mobilité des porteurs majoritaire et la longueur de   diffusion des porteurs minoritaires. Dans la   troisième partie est présenté le montage utilisé,   ainsi que les conditions d¿élaboration des couches de   silicium. La dernière partie donne les résultats des   caractérisations structurales et électriques des   couches minces élaborées sur des substrats de SP. Les   résultats  montrent que la mobilité des porteurs   varie de 107 à 186 cm²V-1s-1 et est plus élevée que   celles obtenues par LPCVD et RT-LPCVD.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9786131576058\"\u003e\u003ch3\u003eApplication au gettering des impuretés dans le  silicium et à la croissance des couches minces  de silicium (CMSi) par RT-APCVD\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9786131576058","offer_id":40149092859997,"sku":"9786131576058","price":49.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/fee83dbf-96fd-4812-9dd0-f1b277e7c7e3.jpg?v=1758089877","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/products\/le-silicium-poreux-von-messaoud-hajji-und-hatem-ezzaouia","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}