{"product_id":"jeuf-litografiq-na-dline-wolny-13-5-nm-von-alexej-pestow","title":"JeUF litografiq na dline wolny 13,5 nm","description":"\u003cp\u003eProekcionnaq litografiq s dlinoj wolny 193 nm w nastoqschee wremq qwlqetsq klüchewoj tehnologiej pri proizwodstwe älementow mikroälektroniki s pomosch'ü kotoroj osuschestwlqetsq \"zapis'\" topologicheskogo risunka na fotoreziste s posleduüschim proqwleniem. Blagodarq primeneniü razlichnyh metodow uluchsheniq izobrazhenij razreshenie litograficheskih ustanowok uzhe prewzoshlo difrakcionnyj predel i dostigaet 32 nm. Cenoj ätogo qwlqetsq ogranichennyj nabor topologij, snizhenie proizwoditel'nosti i dorogowizna litograficheskogo processa. Jekonomicheski wygodnoe oswoenie tehnologicheskih norm 10-30 nm swqzywaetsq s litografiej äxtremal'nogo ul'trafioletowogo (JeUF) diapazona, w kotorom osnowoj opticheskih älementow qwlqütsq mnogoslojnye interferencionnye struktury (MIS). Nesmotrq na uspehi, podtwerdiwshie perspektiwy JeUF litografii dlq formirowaniq nanostruktur, na puti k kommercheskomu litografu na 13,5 nm predstoit reshit' eschö rqd nauchnyh i tehnologicheskih problem. V dannoj rabote predlagaütsq metody diagnostiki i optimizacii MIS, izuchaütsq chuwstwitel'nost' i razreshenie JeUF rezistow, istochniki JeUF izlucheniq, polucheny perwye izobrazheniq metodom kontaktnoj litografii.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9783844352924\"\u003e\u003ch3\u003eRazwitie diagnosticheskih metodow dlq zadach proekcionnoj litografii 13,5 nm\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9783844352924","offer_id":39470085963869,"sku":"9783844352924","price":59.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/969d8210-b93c-4275-b9a2-aa8f05a7d383.jpg?v=1773123966","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/products\/jeuf-litografiq-na-dline-wolny-13-5-nm-von-alexej-pestow","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}