{"product_id":"herstellung-und-charakterisierung-von-high-k-metal-gate-cmos-transistoren-von-josef-biba","title":"Herstellung und Charakterisierung von high-k Metal-Gate CMOS Transistoren","description":"\u003cp\u003eDie vorliegende Arbeit befasst sich mit der technologischen Entwicklung eines CMOS (Complementary-Metal-Oxide-Semiconductor) Prozesses zur Herstellung von integrierten Schaltungen. Dabei werden Siliziumoxid und Aluminiumoxid als Gatedielektrika verwendet und untersucht. Dadurch ergibt sich ein Vergleich zwischen einem selbstjustierenden Gate-Prozess, mit Polysilizium als Gateelektrode und Siliziumoxid als Dielektrikum, und dem Metal-Gate Prozess mit einem Gatestack basierend auf Aluminiumoxid mit metallischer Gateelektrode. Neben den theoretischen Grundlagen zur Thematik der Feldeffekttransistoren wird auf das statische Verhalten des CMOS-Inverters eingegangen. Dieser wird im Rahmen der Arbeit als integrierte Schaltung hergestellt. Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt auf der elektrischen Charakterisierung und dem Vergleich mit analytischen Berechnungen.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9783954043514\"\u003e\u003ch3\u003e\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Libri","offers":[{"title":"Softcover - 9783954043514","offer_id":39454357487709,"sku":"9783954043514","price":39.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/b6d35aad-1327-4c16-8e7b-853aea3bf231.jpg?v=1756876220","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/products\/herstellung-und-charakterisierung-von-high-k-metal-gate-cmos-transistoren-von-josef-biba","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}