{"product_id":"elaboration-de-couches-de-tin-par-depot-chimique-en-phase-gazeuse-von-helene-de-baynast","title":"Elaboration de couches de TiN par dépôt chimique en phase gazeuse","description":"\u003cp\u003eCe travail porte sur l¿élaboration et la caractérisation des films de nitrure de titane déposés sur silicium par CVD à partir des précurseurs : tétrachlorure de titane (TiCl4), ammoniac (NH3) et hydrogène (H2). Les films sont réalisés dans un réacteur basse pression à chauffage rapide (RTLPCVD). Deux procédés de dépôt ont été proposés : un monocycle et un multicycle, ainsi que deux groupes de paramètres : le groupe 1 avec une haute température de dépôt (800°C) et une phase gazeuse riche en ammoniac et le groupe 2 avec une faible température de dépôt (500°C) et une phase gazeuse pauvre en ammoniac. L¿étude des coefficients de sursaturation et des énergies libres de surface a permis de calculer les rayons des germes critiques. Des hypothèses sur les modes de croissance ont été émises : la germination des couches élaborées avec les paramètres du groupe 1 se ferait selon le mode de germination 2D-3D alors que la germination des groupes élaborées avec les paramètres du groupe 2 se ferait selon le mode de croissance 3D. Les dépôts ont été caractérisés par diffraction X, RBS, XPS, mesure de résistivité, spectrocolorimétrie, rugosité de surface et comportement tribologique.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9783838181011\"\u003e\u003ch3\u003eEtude de la croissance et caractérisation\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9783838181011","offer_id":39469143031901,"sku":"9783838181011","price":69.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/d8885d5c-324b-4420-b5ba-5257599d019f.jpg?v=1760159822","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/products\/elaboration-de-couches-de-tin-par-depot-chimique-en-phase-gazeuse-von-helene-de-baynast","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}