{"product_id":"crescimento-e-caracterizacao-da-pelicula-fina-ito-por-magnetron-sputtering-von-ocal-tuna","title":"Crescimento e Caracterização da película fina ITO por Magnetron Sputtering","description":"\u003cp\u003eNeste estudo, as películas finas de óxido de estanho índio (ITO) foram cultivadas tanto por técnicas de pulverização de magnetrões DC como RF. Para conhecer a taxa de deposição de ITO, os sistemas foram calibrados tanto para DCMS como para RFMS e depois as ITO foram cultivadas em substrato de vidro com a espessura de 70 nm e 40 nm por alteração da temperatura do substrato. Foi investigado o efeito da temperatura do substrato, da espessura da película e do método de pulverização catódica nas propriedades estruturais, eléctricas e ópticas. Os resultados mostram que a temperatura do substrato e a espessura da película afectam substancialmente as propriedades da película, especialmente a cristalização e a resistividade. As películas finas cultivadas a uma temperatura inferior a 150 oC mostraram uma estrutura amorfa. No entanto, a cristalização foi detectada com o aumento adicional da temperatura do substrato. Calculou-se que a diferença de banda de ITO era de cerca de 3,64eV à temperatura do substrato de 150 oC, e alargou-se com o aumento da temperatura do substrato. A partir de medições eléctricas, a resistividade à temperatura ambiente foi obtida 1,28×10-4 e 1,29×10-4 D-cm, para os filmes com DC e RF sputtered, respectivamente. Também medimos a resistividade dependente da temperatura e o coeficiente Hall dos filmes, e calculámos a concentração portadora e a mobilidade Hall.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9786203340280\"\u003e\u003ch3\u003eCrescimento da ITO\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9786203340280","offer_id":39494602063965,"sku":"9786203340280","price":49.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/11203145-cc6f-4c9e-9bdb-fb352e3f67b6.jpg?v=1757828067","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/products\/crescimento-e-caracterizacao-da-pelicula-fina-ito-por-magnetron-sputtering-von-ocal-tuna","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}