{"product_id":"termodynamiczna-analiza-procesow-wzrostu-warstwy-epitaksjalnej-von-rahman-bakhyshov","title":"Termodynamiczna analiza procesów wzrostu warstwy epitaksjalnej","description":"\u003cp\u003eNiniejsza praca jest po¿wi¿cona analizie termodynamicznej procesów fizykochemicznych wzrostu warstw epitaksjalnych zwi¿zku pó¿przewodnikowego Ga2Se3 z fazy gazowej w uk¿adzie przep¿ywowym Ga - Se - Cl - H oraz modelowaniu procesów technologicznych w celu prognozowania mo¿liwych wariantów technologicznych i okre¿lenia optymalnych warunków syntezy tego zwi¿zku. Podano wyniki badä nad definiowaniem i obliczaniem parametrów termodynamicznych poszczególnych substancji systemu Ga - Se - Cl - H, do wykorzystania przy termodynamicznym modelowaniu procesów wzrostu warstw epitaksjalnych Ga2Se3 z fazy gazowej. Zbadano zwi¿zek pomi¿dzy zmiennymi termodynamicznymi a parametrami technologicznymi procesu syntezy Ga2Se3 w reaktorze typu otwartego z oddzielnymi ¿ród¿ami galu i selenu. Zilustrowano schemat obliczenia parametrów technologicznych procesu narastania warstw epitaksjalnych Ga2Se3 w uk¿adzie transportu gazu przep¿ywowego z wydzielonymi ¿ród¿ami galu i selenu.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9786202589000\"\u003e\u003ch3\u003epo¿¿czenie pó¿przewodnikowe Ga2Se3 metod¿ rur otwartych w systemie transportu gazu Ga-Se-Cl-H\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9786202589000","offer_id":40150028484701,"sku":"9786202589000","price":26.9,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/d8b3b809-2f2e-463a-a487-7682cd23595d.jpg?v=1757570181","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/en\/products\/termodynamiczna-analiza-procesow-wzrostu-warstwy-epitaksjalnej-von-rahman-bakhyshov","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}