{"product_id":"processos-microelectronicos-para-o-fabrico-de-vlsi-von-debasis-mukherjee","title":"Processos microelectrónicos para o fabrico de VLSI","description":"\u003cp\u003eO livro \"Micro-electronic Processes for VLSI Fabrication\" é um guia completo e autorizado que analisa os princípios fundamentais e as técnicas avançadas utilizadas no fabrico de circuitos integrados de muito grande escala (VLSI). Abrangendo um vasto leque de tópicos, o livro começa com uma introdução aprofundada à tecnologia de semicondutores de silício, incluindo uma panorâmica dos materiais semicondutores, estrutura cristalina do silício, semicondutores intrínsecos e extrínsecos e os meandros da dopagem e da concentração de portadores. Os capítulos subsequentes aprofundam aspectos cruciais do fabrico de VLSI, explorando técnicas de processamento de bolachas, tais como crescimento, preparação, inspeção de defeitos e vários métodos de limpeza de bolachas. O processo crítico de oxidação é abordado em pormenor, explicando as técnicas de oxidação térmica, seca e húmida, bem como os modelos de crescimento de óxidos. O livro examina extensivamente os métodos de deposição epitaxial, incluindo a deposição química de vapor (CVD), a epitaxia por feixe molecular (MBE) e a epitaxia selectiva. A implantação e a difusão de iões, processos fundamentais para o fabrico de dispositivos semicondutores, são também meticulosamente discutidas, com informações sobre os processos de implantação de iões.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9786206369752\"\u003e\u003ch3\u003e\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9786206369752","offer_id":47008669630789,"sku":"9786206369752","price":79.9,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/67ec5d4d-9f6c-43ea-89d3-6df182db0dd6.jpg?v=1758689963","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/en\/products\/processos-microelectronicos-para-o-fabrico-de-vlsi-von-debasis-mukherjee","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}