{"product_id":"mikrosystemtechnik-prozessschritte-technologien-anwendungen-von-ulrich-hilleringmann","title":"Mikrosystemtechnik","description":"Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik\/Elektronik, Optik\/Elektronik und Optik\/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9783835100039\"\u003e\u003ch3\u003eProzessschritte, Technologien, Anwendungen\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Libri","offers":[{"title":"Softcover - 9783835100039","offer_id":39459124543581,"sku":"9783835100039","price":37.99,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/57a665d8-1d3b-4df7-a5c9-4929e7dac673.jpg?v=1781846502","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/en\/products\/mikrosystemtechnik-prozessschritte-technologien-anwendungen-von-ulrich-hilleringmann","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}