{"product_id":"mev-elektronenbestrahlung-von-si-heterostrukturen-von-sonia-kaschieva-sergey-n-dmitriev","title":"MeV-Elektronenbestrahlung von Si-Heterostrukturen","description":"\u003cp\u003eDie Erzeugung von Strahlungsdefekten durch hochenergetische MeV-Elektronenbestrahlung von n- und p-Typ Si-SiO2-Strukturen mit verschiedenen Arten von Oxiden wurde untersucht. Die Morphologieänderungen des SiO2-Oxids während der MeV-Elektronenbestrahlung wurden mittels AFM beobachtet. Es werden Si+-Ionen-implantierte Si-SiO2-Strukturen vor und nach MeV-Elektronenbestrahlung vorgestellt. Die Umverteilung von Sauerstoff- und Silizium-Atomen und die Erzeugung von Si-Nanokristallen während der MeV-Elektronenbestrahlung wurde mit RBS\/C- bzw. AFM-Techniken beobachtet. Optische Eigenschaften, Photolumineszenz und spektroskopische Untersuchungen von SiOx-Filmen, die mit MeV-Elektronen bestrahlt wurden, werden ebenfalls durchgeführt.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9786200995711\"\u003e\u003ch3\u003e\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Libri","offers":[{"title":"Softcover - 9786200995711","offer_id":39455293407325,"sku":"9786200995711","price":48.6,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/f2919db8-e0bf-4ede-add1-8cbba1fa4131.jpg?v=1757485231","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/en\/products\/mev-elektronenbestrahlung-von-si-heterostrukturen-von-sonia-kaschieva-sergey-n-dmitriev","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}