{"product_id":"etude-dun-micro-gyrometre-deux-axes-a-poutre-vibrante-en-silicium-von-jerome-maisonnet","title":"étude d''un micro-gyromètre deux axes à poutre vibrante en silicium","description":"\u003cp\u003eLes travaux présentés ont pour but  l''optimisation et la réalisation d''un gyromètre  micröusiné à poutre vibrante sur substrat silicium.  Ces travaux s''inscrivent dans la continuité de thèses  précédemment effectuées à FEMTO-ST et consacrées au  développement de structures en étoile. Cette  configuration est appropriée à la réalisation de  mesures de vitesse angulaire dans le plan du  substrat.  Le projet de recherche propose une  évolution du gyromètre silicium avec passage d''une  détection capacitive à une détection optique. C''est  pourquoi le mémoire propose naturellement un  redimensionnement en profondeur du capteur. Ainsi, un  nombre important d''études par éléments finis ont été  réalisées pour optimiser la structure vibrante. Des  études électromécaniques ont permis de comprendre en  détail les spécificités résultant du choix de  l''excitation capacitive. Ces travaux ont conduit à  l''élaboration d''une structure optimisée, et à à une  redéfinition des procédés de fabrication. Plusieurs  capteurs ont été réalisées, validant le design et son  process. Le recours à une sonde hétérodyne a ensuite  permis de mesurer les déplacements hors-plan en  fonction du signal d''excitation.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9786131550768\"\u003e\u003ch3\u003esenseurs à ondes de volume\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9786131550768","offer_id":40149119991901,"sku":"9786131550768","price":59.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/d5a79cd6-32e8-4931-bf2a-59bacafe4159.jpg?v=1781587412","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/en\/products\/etude-dun-micro-gyrometre-deux-axes-a-poutre-vibrante-en-silicium-von-jerome-maisonnet","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}