{"product_id":"capacites-variables-et-inductances-mems-rf-integration-above-ic-von-alexandre-mehdaoui","title":"Capacités Variables et Inductances MEMS RF (Intégration 'Above-IC')","description":"\u003cp\u003eCe projet présente le design, la simulation et la fabrication des capacités variables à électrodes fragmentées (AlSi) qui se déplacent latéralement à l¿aide d¿actionneurs électrothermique et électrostatique. Tous les composants passifs MEMS sont réalisés à de faibles températures (compatible ¿Above-IC¿), en utilisant, une couche sacrificielle polyimide, 4 um d¿AlSi comme couche structurelle et du cuivre épais. Pour augmenter la variation de capacité, nous nous sommes concentré sur la variation de surface. Ces solutions évitent l¿effet ¿pull-in¿ mais la variation de la capacité reste inférieure à 100% et la consommation en puissance est forte. Nous avons alors choisi de développer une autre capacité variable à électrodes fragmentées et par actionnement latéral électrostatique. Des circuits LC ont été réalisés et caractérisés, avec une variation de fréquence de 25% à 2GHz. Les inductances en cuivre ont été fabriquées avec succès et mesurées. Enfin, dans le même procédé, nous avons fabriqué et caractérisé des filtres passes-bandes WLAN et DCS pour un démonstrateur reconfigurable ¿front end¿. Ces composants ont été fabriqués avec du cuivre épais 10 um.\u003c\/p\u003e\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9783841741295\"\u003e\u003ch3\u003e\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Autorenwelt Shop","offers":[{"title":"Softcover - 9783841741295","offer_id":39467775688797,"sku":"9783841741295","price":86.9,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/d888ef22-a27a-4eb7-90ba-e1716e8dbdb3.jpg?v=1757742259","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/en\/products\/capacites-variables-et-inductances-mems-rf-integration-above-ic-von-alexandre-mehdaoui","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}