{"product_id":"atzen-von-titannitrid-mit-halogenverbindungen-kammerreinigung-mit-externer-plasmaquelle-von-ronald-hellriegel","title":"Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen","description":"Mit zunehmender Miniaturisierung mikroelektronischer Bauelemente steigen die Anforderungen an reproduzierbare qualititätskonforme Schichten. Um die zur herstellung notwendigen ALD\/PVD\/CVD-Schichtabscheideanlagen in einen zuverlässigen Zustand zu versetzen, ist eine regelmäßige Kammerreinigung notwendig.\n\nIm vorliegenden Buch wird am Beispiel der Remote Plasma Source (RPS)-Kammerreinigung von TiN-Abscheideanlagen ein systematischer Ansatz zur Untersuchung der relevanten Parameter vorgestellt. Mit den Meßmethoden QMS, FTIR, OES, XPS, Interferometrie werden die Besonderheiten von Fluor\/Chlor-Interhalogenmischungen gezeigt und die zugrunde liegenden Mechanismen beschrieben. \n\nEine effektive Methode zur TiN-Kammerreinigung bei niedrigen Temperaturen und niedrigen Drücken wird vorgeschlagen.\n\nErstmalig wurde die Verwendung von molekularem Fluor mit RPS-Plasma als Kammerreinigungsgas untersucht und die Ätz-Effektivität mit der des NF3 verglichen. Die Anwendung von Fluor in Trägergas für Reinigungsprozesse in der Mikroelektronik oder Photovoltaik stellt sich vorteilhaft dar.\u003cdiv class=\"aw-variant-hidden-subtitle-div\" id=\"aw-variant-subtitle-9783839106938\"\u003e\u003ch3\u003eKammerreinigung mit externer Plasmaquelle\u003c\/h3\u003e\u003c\/div\u003e","brand":"Libri","offers":[{"title":"Softcover - 9783839106938","offer_id":39460422090845,"sku":"9783839106938","price":8.9,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0940\/0622\/files\/dba43f2f-ff7f-4664-be10-2a5b6bf3c28f.jpg?v=1778051524","url":"https:\/\/shop.autorenwelt.de\/en\/products\/atzen-von-titannitrid-mit-halogenverbindungen-kammerreinigung-mit-externer-plasmaquelle-von-ronald-hellriegel","provider":"Autorenwelt Shop","version":"1.0","type":"link"}